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【概要描述】瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT04.2 高真空傳輸閥與L-VAT適用于裝載鎖和工藝室隔離
| 品牌 | 其他品牌 | 流動方向 | 單向 |
|---|---|---|---|
| 3C閥門類別 | 工業(yè) | 應用領域 | 能源,電子,汽車,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
為大程度地減少粒子的產(chǎn)生和生成，閥板配備了硫化密封件。盡管標準 O 型密封圈可作為一種選擇，但這是一種比標準 O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解決方案。軸饋通件由高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
斷電時，04.2 系列可通過選配的止回閥氣動鎖定在關閉和打開位置。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT設計用于延長免維護運行（在維護前開關次數(shù) ≤ 300 萬）。
04.2 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種半導體生產(chǎn)流程的要求苛刻的應用中，證明了其的可靠性。04.2 系列具有堅固的設計，減少了維護量，使維護更方便，在各個方面都令人信服。
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT始終根據(jù)客戶規(guī)格要求量身定制。盡管如此，四個基礎設計類型已預定義：兩種具有不同的后側開口的閥門類型和兩種帶有內腔或外腔閥座的嵌入型閥門類型。
閥體材料選擇有硬質陽極氧化鋁或鍍鎳鋁。閥板和閥蓋密封件采用氟橡膠或全氟橡膠材料?？筛鶕?jù)要求使用其他密封材料。
特點：
可在腐蝕性工藝條件下實現(xiàn)可靠運行
平滑且低沖擊的運動
采用避免粒子生成和產(chǎn)生的 L-VAT 技術
波紋管密封軸饋通件
免維護周期延長
優(yōu)勢：
正常運行時間長/性能不受限
運行快速
運行成本低
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
| 尺寸 | 46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23") | ||
|---|---|---|---|
| 驅動器 | 氣動 | 雙作用，帶位置指示器 | |
| 閥體材料 | 鋁 | ||
| 饋通件 | 波紋管 | ||
| 泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 閥座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar（絕對壓強） | ||
| 壓差 | 閥板上 | ≤ 1.2 bar | |
| 打開時 | ≤ 30 mbar | ||
| 首維護前開關次數(shù) | ≥ 300萬次 | ||
| 溫度 | 閥體 | ≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ | |
| 閥板 | ≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ | ||
| 加熱和冷卻速率 | ≤ 40 °C h-1 | ||
| 閥座/閥板溫差 | < 40 °C | ||
| 材料 | 閥體、閥板、檢修蓋 | EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) | |
| 軸、波紋管端件 | AISI 316L (1.4435) | ||
| 波紋管 | AISI 633 (AM 350) | ||
| 密封 | 閥蓋 | 氟橡膠 | |
| 閥板 | 氟橡膠 | ||
| 安裝位置 | 驅動器可向下安裝 | ||
| 脈沖電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（可根據(jù)要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：觸點額定值 | 電壓 | ≤ 50 VDC | |
| 電流 | ≤ 250 mA | ||
| 電源 | ≤ 10 W | ||
| 連接 | 9 針 D 形超小型連接器 | ||
| 壓縮空氣連接 | 未配備電磁閥 | 內部螺紋 ?“ ISO/NPT | |
| 配備電磁閥 | 內部螺紋 M5 | ||
企業(yè)信息
ENTERPRISE INFORMATION產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
